افزایش طول عمر میکروسوئیچ‌ها با بهره‌گیری از نانولوله‌های کربنی معلق در آرایش چندتایی و فناوری لیتوگرافی

چکیده

میکروسوییچ­های مبتنی بر نانولوله های کربنی(CNT)  به دلیل ویژگی­های الکتریکی و مکانیکی  منحصر به فرد گزینه­ای امیدوارکننده برای کاربرد در مدارهای مجتمع نسل آینده هستند. این  مقاله به طراحی روش ساخت و ارزیابی یک میکروسوییچ با ساختار پیشرفته می­پردازد که در آن  از نانولوله­های کربنی معلق و آرایش چندتایی برای بهبود پایداری مکانیکی و افزایش طول عمر و عملکرد الکتریکی مناسب­تر استفاده شده است. نتایج آزمایشگاهی توسط نرم افزار silvaco شبیه سازی شده­اند که نشان­دهنده کاهش مقاومت تماسی به کمتر از kΩ10  و چرخه کاری بیش از 10⁵ بار است. در نهایت چالش­های فرآیند ساخت و راهکارهای احتمالی  مورد بحث قرار گرفته اند.  .